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近來  ,直接影響光刻精度及產品良率。

出資方觀念:

中銀世界出資項目擔任人表明:“中科卓爾在半導體資料范疇具有技能稀缺性與工業鏈卡位優勢 ,一起 ,一向參加輔導掩模版基板缺點檢測與質量操控 。電子束曝光與缺點檢測等空白掩模版出產中的中心設備長時間受美日出口操控 ,我國大陸可以小批量安穩供給第三方石英空白掩模版的企業僅4–5家,公司打破了半導體掩模版基板精細拋光與鍍膜要害技能  ,國內擴產受限。

硬氪了解到  ,”

四川鼎祥項目擔任人表明