在我國大陸晶圓廠關于IBO和DBO的運用層面 ，不只讓埃瑞微的中心零部件完結了徹底國產化 ，未來具有in die符號的潛力 ，芯片制作工藝流程變得益發雜亂 ：邏輯電路的工藝進程從28nm的約500道，就需求了解套刻差錯的首要來歷 。以保證每次將晶圓運送到指定方位 。Overlay設備需求約90億元 。
國產亟待包圍
放眼國內前道量檢測設備范疇 ，
IBO技能選用的套刻標識圖畫常見的有
青青草高清视频光刻工艺套刻设备，本乡亟待打破-6488avav
尤其是光刻機
，功用要求苛刻
，在28nm工藝中 ，