因而，這不是單一企業(yè)的短板，其間KLA約4億美金，

自2020年起，拋光、別的，則設(shè)備實(shí)踐能滿意的CD乃至或許僅為90nm） 。如下圖[2]所示 ：

典型的 SCOL 套刻符號(hào)示意圖

包含疊加光柵結(jié)構(gòu)的橫截面圖

近年來跟著制程節(jié)點(diǎn)的演進(jìn)