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挨近/觸摸式光刻機仍然是干流的出產設備 ,上圖就是Planar所出產和研制的挨近/觸摸式光刻機 。步進掃描式已成為干流 。同年代的美國GCA和Perkin Elmer早已消失在了歷史長河之中。除了Planar之外 ,兩者也都開展出以激光束為能量源進行化學氣相堆積(LCVD)的圖形補缺手法。V-Technology的體現也更為出彩