雖然與ASML和尼康這樣的商場化前鋒比較差勁許多，

可是與V-Technology比較
，光刻機工業(yè)則首要留在了白俄羅斯，但仍堅持國有主導(dǎo)地位。部分我國高校和微電子企業(yè)曾引進Planar的光刻機用于研制 。

白俄羅斯在蘇聯(lián)光刻機開展甚至整個微電子工業(yè)的影響也無足輕重 ，這種設(shè)備仍算是少數(shù)可用的“先進”挑選之一。投影方法首要包含觸摸式和挨近式。

兩者都運用飛秒激光對光罩上的缺點結(jié)構(gòu)進行物理燒蝕