據(jù)相關(guān)數(shù)據(jù)顯現(xiàn) ，這個(gè)關(guān)于有上千個(gè)部件的設(shè)備是個(gè)極大的檢測(cè) 。就是丈量并批改這種層與層之間的“套刻差錯(cuò)” 。制作完結(jié)的晶圓是多層結(jié)構(gòu)，

寫(xiě)在最終

套刻設(shè)備作為光刻機(jī)的中心配套