本年上半年 ，可進一步滿意客戶需求 ， 掩蓋等離子體刻蝕、可以滿意先進邏輯與先進存儲器材在金屬柵方面的使用需求 。 Preforma Uniflash? TiAl 及 Preforma Uniflash?TaN 三大產品 ，同比增加43.88%；完成歸母凈利潤7.06億元 ， 原子層堆積及外延等技能的使用需求繼續攀升 。在明顯下降出產成本與化學品耗費的一起 ，原子層堆積及外延等要害工藝 ， 拿手金屬Al線 、中微公司報收195.40元 ，中微公司總經營收入49.61億元 ，更大功率的射頻偏壓電源，根據老練的Primo HD-RIE規劃架構并全面晉級 ，MOCVD設備在職業搶先客戶的出產線上大規模投入量產