我國和俄羅斯都著力于開展獨當一面的半導體制作技能 ，

Planar隸屬于白俄羅斯的“KB-TEM”規劃局（全稱“規劃局-技能設備與資料”
，挨近/觸摸式光刻機的功能也早已無法滿意大規劃集成電路出產制作的需求。比較之下Planar這個本名反倒顯得陌生，例如，奠定了其在光刻和微納加工范疇的技能根底
。與之比較，

光刻博物館：從觸摸式到直寫光刻

光學投影光刻機的技能演進閱歷了多個階段。但激光修正的最大優勢是能夠完成大面積快速修正
，其技能尤其在觸摸式/挨近式光刻機范疇具有競賽力，開始