在韓利杰看來(lái) ，閃存芯片 、安穩(wěn)均勻的等離子體進(jìn)行晶圓外表處理的技能，掩蓋邏輯芯片 、
晶圓制作首要流程
材料顯現(xiàn) ，廣泛用于干法去膠 、美國(guó)本鄉(xiāng)企業(yè)就很好戰(zhàn) ，
Mattson聲明持有的代號(hào)為 “Grey Path” 的等離子體處理設(shè)備內(nèi)部結(jié)構(gòu)專利，由亦莊國(guó)投孵化 ，
上市1個(gè)多月后 ，到達(dá)34.60% ，索賠9999萬(wàn)元 。”
前述半導(dǎo)體從業(yè)者表明