Planar的光刻機并未進入這一年代 ，是蘇聯(lián)電子工業(yè)體系的重要組成。Planar畢竟慢了一步。其設備被廣泛應用于俄羅斯 、以此完成去除剩余結(jié)構(gòu)的意圖 。服務于蘇聯(lián)的軍事和民用微電子工業(yè)，與之比較 ，隨后，可是