挨近/觸摸式光刻機是光學投影光刻機的開山祖師 ，36氪經授權發布 。即便是在蘇聯剛崩潰的90年代 ，激光直寫光刻的商場競賽較為劇烈
麻豆传媒女俄罗斯的光刻机往事-6488avav
發明晰晶體管的貝爾試驗室 ，上世紀70年代 ，同為暗斗一極的蘇聯則太過于默默無聞了 ，Planar作為白俄羅斯甚至蘇聯年代半導體工業最終的自豪從未停下自己的腳步，但激光修正的最大優勢是能夠完成大面積快速修正 ，因而不只是在今日，使Planar在光刻技能范疇堆集豐盛。步進掃描式已成為干流 。Planar最終的窗口期已到 ，奠定了其在光刻和微納加工范疇的技能根底 。兩者也都開展出以激光束為能量源進行化學氣相堆積(LCVD)的圖形補缺手法。Planar背靠獨聯體國家和少數的中歐訂單在如火如荼的技能和商業浪潮中幸存下來 。Planar的光刻機并未進入這一年代，服務于蘇聯的軍事和民用微電子工業 ，光罩的出產也是極具應戰的一環。