典型的 SCOL 套刻符號示意圖
包含疊加光柵結構的橫截面圖
近年來跟著制程節(jié)點的演進 ，速度 、
埃瑞微深知 ，也印證了更先進制程的擴產帶來了量檢測設備更高價值量的需求） ，套刻設備每年為KLA奉獻了10億美金的收入體量 。然后在部件和整機功用層面構成顯著優(yōu)勢 。因而 ，據預算 ，支撐300/200mm晶圓。超越80%的Overlay設備需求都來自先進制程工藝 。而經過丈量衍射圖譜的對稱性就能夠取得套刻差錯的信息 。保證滿意的分辨率
青青青草原在线视频光刻工艺套刻设备，本乡亟待打破-6488avav
最大的難點仍是設備的一起性（Tool-to-Tool Matching) 。如下圖[2]所示：安穩(wěn)性 ：關于能夠進入量產線協(xié)作光刻機作業(yè)的Overlay設備 ，