蘇聯(lián)光刻機(jī)往事
因?yàn)榧寄艿缆返牟煌? ，供給了要害的納米級(jí)丈量與操控技能 。但仍是留下了一顆火種發(fā)光發(fā)熱 。公司專心于光刻設(shè)備
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部分我國(guó)高校和微電子企業(yè)曾引進(jìn)Planar的光刻機(jī)用于研制 。這種設(shè)備仍算是少數(shù)可用的“先進(jìn)”挑選之一
。美國(guó)GCA最早在上世紀(jì)60年代便開發(fā)和出產(chǎn)
，恐怕傳統(tǒng)的客戶都會(huì)變成自己的競(jìng)賽對(duì)手了
。德國(guó)的海德堡儀器和銳時(shí)(Raith) ，