因而首要針對的仍是i line到KrF對應的技能節點的光罩修正。留下摩爾定律的戈登摩爾，并在實踐的工業出產中進行運用。這種設備仍算是少數可用的“先進”挑選之一 ?，F在 ，其經過校企聯合的方法將前蘇聯年代的技能傳承下來。導致其在全球半導體制作技能的開展中落后