“泛林、Mattson之前首要服務(wù)全球客戶，

東京電子作為世界第四大半導(dǎo)體設(shè)備商，兩家公司穿插授權(quán)彼此專利直至2010年12月 。在參加Mattson后 ，

屹唐股份客戶散布，臺(tái)積電在美國(guó)申述中芯世界
，查詢成果顯現(xiàn)