薄膜堆積和退火等，這個關于有上千個部件的設備是個極大的檢測 。是經過高分辨率的光學顯微鏡直接獲取參閱層和當時層的套刻標識圖畫 ，他們不再是簡略地運用國內現有的供給鏈 ，也印證了更先進制程的擴產帶來了量檢測設備更高價值量的需求），提高機臺利用率；完結OVL原始數據在線剖析