白俄羅斯科學院及其部屬研討所參加光刻機所需光學元件的鍍膜工藝與干與丈量體系的開發，部分我國高校和微電子企業曾引進Planar的光刻機用于研制。

蘇聯崩潰后，當半導體制作與如火如荼的地緣政治深度交錯在一起的當下，至今同步輻射與自由電子EUV依舊是業界所研討開展的高功率相干EUV光源技能道路