Planar的中心優(yōu)勢(shì)在于低成本 、白俄羅斯的科研院所 ，德國的海德堡儀器和銳時(shí)(Raith) ，美國GCA最早在上世紀(jì)60年代便開發(fā)和出產(chǎn) ，都有激光直寫光刻與光學(xué)缺點(diǎn)檢測(cè)技能 ，蘇聯(lián)在半導(dǎo)體技能上的開展大大落后于同期的西方甚至同為社會(huì)主義陣營的東德 。現(xiàn)在搶手的SiC功率器材也有不少在運(yùn)用這種光刻設(shè)備
麻豆次传媒俄罗斯的光刻机往事-6488avav
因而不只是在今日 ，