其間KLA約4億美金，

契合工藝規(guī)則的鎢塞孔洞

偏移過度的鎢塞孔洞

而要了解怎么處理這種差錯，詳細參數(shù)包含 ：OMF和TMU。經(jīng)過將光線照射到兩層條紋圖畫上并獲取反射光衍射條紋的光譜信息（反射譜的強度與套刻差錯近似成正比）