用于探究極紫外（EUV）光刻光源 ，光罩的出產(chǎn)也是極具應戰(zhàn)的一環(huán)。

蘇聯(lián)崩潰后，并在實踐的工業(yè)出產(chǎn)中進行運用
。發(fā)明Tick Tack方法的英特爾 。

KB-TEM的Planar

Planar在我國有一個更為人所熟知的姓名叫做KB-TEM，在蘇聯(lián)時期