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MEMS制作以及其他微觀工藝的高端設備范疇。同比增加43.88%;完成歸母凈利潤7.06億元,跌7.83% 。包含兩款刻蝕設備和四款薄膜堆積設備 。中微公司總經營收入49.61億元  ,供給更高離子轟擊能量