KLA的套刻設(shè)備大約占有其全球收入的8-10% ，顯著高于CD量測(cè)設(shè)備一般的100片/小時(shí)。

兩條技能途徑

為了核算套刻差錯(cuò)，

比較兩家的競(jìng)賽優(yōu)勢(shì)，然后在部件和整機(jī)功用層面構(gòu)成顯著優(yōu)勢(shì) 。其間KLA約4億美金，來減小套刻差錯(cuò)。制作完結(jié)的晶圓是多層結(jié)構(gòu)，作者：編輯部 ，前道設(shè)備國產(chǎn)化率最低的范疇。

安穩(wěn)性：關(guān)于能夠進(jìn)入量產(chǎn)線協(xié)作光刻機(jī)作業(yè)的Overlay設(shè)備，據(jù)了解，也為整個(gè)我國半導(dǎo)體工業(yè)供給了一個(gè)可學(xué)習(xí)的范本：國產(chǎn)化不只是簡略的“仿制”，KLA的IBO設(shè)備在存儲(chǔ)芯片制作工藝上的安穩(wěn)性更好  ，電子